製品の型番一覧

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DC電源

メーカー 型名 対象装置
Advanced Energy(AE) MDXシリーズ    MDX-L6 MDX-L12 MDX-L12M MDX-L12M-650 MDX-L18M MDX-HALO ENDURA
Advanced Energy(AE) Pinnacleシリーズ   Pinnacle20K Pinnacke12K Pinnacle10K Pinnacle6K ENDURA
Advanced Energy(AE) MDLシリーズ          MDL-1501 MDL-1001 液晶
MKS(ENI) DCG-200 ENDURA
ANELVA PDC-307シリーズ PDC-157シリーズ I1060/I1051

 

 

RF電源

メーカー 型名 対象装置
COMDEL CPS-1001/1001S CDX-2000 CPS-500 CB-250 CLB-2500 CX-600 ENDURA
CLX-1250 INOVA
Advanced Energy(AE) APEX-3013 PDX-900 RFG-2000-2V Producer
RFG-5500 C2 SPEED SEQUEL
RFG-3000 C2/ALTUS
RFG-1251 INOVA
RFG-1250 RFDS-1250 RFG-1250 Halo Alliance
RF-5S E-628
RF-20S RAM-6500
RF-30S CVR-9000
AE(RFPP) RF-10S Aspen II
MKS(ENI) OEM-12Bシリーズ P-5000/CCENTURA
NOVA50-04 GHW-50A CENTURA HDP
GMW-25A CENTURA DPS
OEM-50 OEM-25N OEM-28B C1
OB1-3 Excellan
OEM-6 PL-2HF TE5000
OEM-10B TE7500
GEW-30A UNITY-85ME
NOVA50A-02 Unity lle855
OEM-25B-01 OEM-20B Telius DRM
パール工業 LP500-800KB M501
LP150-800KB M511
RP-300-2M  
DAIHEN WGA-30A AGA-27A UNITY
MFG-20SA TE8500
ADTEC AX-1000II-ASM Eagle10
ULVAC RFS-05C ZX1000

 

 

マッチャー

メーカー 型名 対象装置
Applied Materials(AMAT) 0010-20524  0010-20525  0010-12456  0010-13622  0010-13627  0010-15877 0010-20440  0010-25893 ENDURA
0010-20441  0010-20442  0010-02977  0010-22161  0010-22225  0010-26029 0010-30094 PVD
0010-09750  0010-18129  0010-18130  0010-36114  0010-36408  0010-09490 0010-36162  0010-09416  0010-09417  0010-30686 CENTURA
Trazar AMU2-1 C1
AMU10E-1 AMU10E-2 SRN1-2 C2 SPEED
AMU-10D-1 AMU-10D-2 AspenII
Lam Research 853-025735R00  853-330951-021  853-032294-002 Alliance
MKS(ENI) MW-10LD TE7500
MW2-30-02 UNITY-88SCCM
MWD2-30 UNITY-ME85R
MWD-25LD-02 Telius DRM
COMDEL LF Fixed Match(0190-11913) ENDURA
ULVAC MBX-05EA5 ZX1000
NOVELLUS 02-255013-00 C2 SPEED
ADTEC AM-1000S-ASM Eagle 10
DAIHEN MFM-20SA TE8500
ASTECH TH-30RN E-628
パール工業 RP-50-2M HITACHI
RF Service RFS-1000 AspenII
Advanced Energy(AE) MFA(3155094-003等)  AZX-63 AZX-Dome(1110-01043)  AZX-Dome(1110-01046)  AZX-Dome(1110-01063) CENTURA

 

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