RF-マッチングネットワーク
マッチャー
マッチャーとは、半導体製造装置に効率良くRF信号を送るための整合器になります。マッチャーとは
プラズマを効率良く発生させるためには、RF電源と半導体製造装置間のインピーダンス整合が必要となります。現行品として、T社製の整合器が多くの半導体メーカーに利用されています。従来の整合器を用いた場合、発生する問題点として、
1. 装置内部品の定格不足により劣化が発生
2. 部品の劣化や故障が定期的に発生するため、寿命が短い
といった点が挙げられます。
P.R.A.製マッチャー互換機の開発
当社では従来品の問題点を改善し、平均故障間隔(Mean Time Between Failure; MTBF)の大幅な向上や、プロセス互換性の対策を施すことにより、新規取り付けにも問題無く従来品と載せ変えが可能なマッチャーを開発いたします。
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P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
