取扱メーカー
＜Seren社について＞
1994年 米国ニュージャージー州Vineland で設立。
高周波電源・マッチャーの開発・製造を行っています。
弊社はSeren社と日本における代理店業務の委託契約を締結致しました。
同社の製品販売および修理メンテナンスサービスの提供業務を行っております。
RF電源
ラインナップ
https://www.serenips.com/RFgen.html
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HRシリーズRF電源
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HRシリーズ-ハイパワーモデル
I Series Generators: (Analytical Instruments – ICPOS/MS)
1250w – 2,500 Watts, 27.12 and 40.68 MHz
R & L Series Generators: (Industrial Applications, Sputter/Etch/Deposition)
300W – 1,000.00W, 13.56 MHz
“HR” Series Generators: (Semiconductor, Sputter/Etch/Deposition, ALD, Industrial)
600w – 30KW, 100 kHz – 40.68 MHz
M Series Generator: (Table Top, Bias Applications)
125 Watts @ 13.56 MHz
マッチャー
ラインナップ
https://www.serenips.com/RFmatch.html
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ATSシリーズ-マッチャー
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ATシリーズ-マッチャー
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ATシリーズ-コントローラ
IM Series: (Analytical Instruments – ICPOS/MS)
1250W – 2,500 Watts, 27.12 and 40.68 MHz
AT Series: (Industrial Applications/Sputter/Etch/Deposition)
100W through 20,000 Watts @ 350 kHz through 40.68 MHz
ATS Series: (Semiconductor/Sputter/Etch/Deposition/ALD)
100W through 20,000 Watts @ 350 kHz through 40.68 MHz
Matching Transformers: Step up / Step Down (100 kHz – 500 kHz)
1000W through 5,000 Watts
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
