修理・アップグレード

修理・アップグレード

各種電子機器(RF電源、DC電源、マッチャー)などの修理と改善GHW-12Z

P.R.A.は、各種電源・マッチングネットワークの修理を行っております。

また、経験と知識を生かし、単なる故障箇所の修理にとどまらず、使用部品の最適化など信頼性向上につながる改善なども行っており、お客様より高い評価を受けております。

弊社で修理・アップグレードをしている主な周辺装置についてご紹介します。

修理・アップグレード製品の紹介

画像や製品名をクリックして頂きますと、詳細情報をご覧頂けます。

 

 

修理・アップグレード製品の型番一覧

DC電源

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
Advanced Energy(AE)

MDXシリーズ:MDX-L6, MDX-L12, MDX-L12M, MDX-L12M-650, MDX-L18M 
        MDX-HALO, MDX-10K
ENDURA
Pinnacleシリーズ:Pinnacle20K, Pinnacke12K, Pinnacle10K, Pinnacle6K ENDURA  ULVAC
MDLシリーズ:MDL-1501, MDL-1001 ULVAC PVD
SUMMIT DC Power Supply:3152700-203, 3152700-205 ULVAC
ANELVA PDC-307シリーズ:PDC-157シリーズ ANELVA
MKS(ENI) DCGシリーズ:DCG100, DCG-200, DCG-400 ENDURA他
KYOSAN HV-PS4(ESC電源) Telius-SCCM

 

RF電源

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
Advanced Energy(AE)



APEX-3013, PDX-900, RFG-2000-2V PRODUCER
RFG-5500 Concept2 SPEED、SEQUEL
RFG-3000 Concept2 / ALTUS
RFG-1251 INOVA
RFG-1250, RFDS-1250, RFG-1250 Halo TCP9400/9600, Alliance
PDX-5000, PDX-8000 Concept2, Concept3
HFV-8000 ENDURA
ATLAS 2012 CENTURA-DPS+POLY
AE(RFPP)



LF-10A ENDURA
RF-20R CENTURA DPS
RF-30S AspenⅢ
RF-10S Aspen II
RF-5S CENTURA DPS
ADTEC AX-1000Ⅱ, AX-1000 III, AX-1000LFⅡ, AX-2000, TX10 Eagle10, Dragon XP-8
COMDEL


CPS-1001/1001S, CDX-2000, CPS-500, CB-250, CLX-2500, CX-600 ENDURA
CLX-1250, CX-1250S, CX-600AS INOVA, ENDURA
CLF-5000 Concept2 SPEED
DAIHEN

WGA-30A, AGA-27A, AGA-50B2, WGA-50E UNITY, TELIUS SCCM
MFG-20SA TE8500
MKS(ENI)


OEM-12A, OEM-12B, OEM-6 P5000  CENTURA
NOVA50-04, GHW-50A CENTURA HDP
GHW-12Z ENDURA
GMW-25A, GMW-25, GW2502MA-F1N000-A1 CENTURA DPS
GHW-55A TELIUS-DRM
OEM-12B, OEM-12B3 CENTURA
OEM-25N, OEM-28B Concept1
OB1, OB2 Excellan
OEM-6, PL-2HF TE5000
OEM-10B TE7500, Concept1
GEW-30A UNITY-85ME
NOVA50A-02 UNITY lle855
OEM-25B-01, OEM-20B Telius DRM
DOFBC2-083 2300 Exelan_Flex45  
SPECTRUM 10513-00, SPECTRUM 11002-00 Ultima
ULVAC RFS-05C RFS-05C
パール工業

LP500-800KB M501
LP150-800KB M511
LP-2000-800K HITACHI
RP-3000-27M UNITY IEM
Seren

HR2001-1P-2, HR2001-3P, HR2001-3P-2M, HR2501-3P, HR3001, HR3001-2M  
HR5001, HR5001-2M, HR10001, HR20001, HR30001  
HR601-60, HR601-LF, HR1001-LF, HR10001-LF  
I2000-AC, I2000-WC, I2000-D-AC, JY2501-AC, RFS3, RFS2  
KYOSAN RFK30Z, RFK20Z, RFK-10Z, RFK-50Z TOK、TEL他

 

マッチャー

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
Advanced Energy(AE) MFA(3155094-003)
BiasMatch(3155031-037, 3155031-043, 3155031-014, 3155031-020A)
AZX-Dome(1110-01043, 1110-01046, 1110-01063)
SOURCE MATCH(3150595-000, 3155086-002B, 3155086-002C, 3155086-102B,
  3155086-102C, 3155086-001C, 3155086-002)
PRODUCER

Applied Materials(AMAT)

0010-20524, 0010-20525, 0010-12456, 0010-13622, 0010-13627, 0010-15877,
0010-20440, 0010-25893, 0010-02977, 0010-22161, 0010-22225, 0010-26029,
0010-30094, 0010-09750, 0010-18129, 0010-18130, 0010-36114, 0010-36408,
0010-09490, 0010-36162, 0010-09416, 0010-09417, 0010-30686, 0010-21748,
0010-52039, 0010-02372, 0010-18130, 0010-18129, 0010-52038
ENDURA CENTURA P5000
ADTEC AM-1000S-ASM, AMV-1000ASM5, AM-2000S-M, AMV-1000G5E, AMVG-1000-HLF-KZ3 Eagle 10, Dragon XP-8, RAMCO 
ASTECH TH-30RN E-628
COMDEL LF Fixed Match(0190-11913) ENDURA
DAIHEN RMN-50P, AMN-50B2, MFM-20SA, AMN-30F, AMN-50B, AMN-50H, WMN-50C6   Telius SCCM, TE8500
Lam Research 853-025735R00, 853-330951-021, 853-032294-002, 853-040482-301, 853-330951R, 853-064887-402 Alliance, EXELAN 
MKS(ENI) MW-10LD TE7500
MW2-30-02, MW2-30D-01 UNITY-85ME, 88SDS
MWD-25LD-02, MW-25D, MWD-25LD-04, MWD-55LD, MWD-55LD-03 UNITY-85DD, Telius DRM
NOVELLUS 02-255013-00 Concept2 SPEED
RF Service RFS-1000 Aspen Diode
Trazar


AMU2-1 Concept1
AMU10E-1, AMU10E-2, SRN1-2 Concept2 SPEED
AMU-10D-1, AMU-10D-2, AMU10D-4 AspenII, ASPENⅢ
ULVAC MBX-05EA5 ZX1000
パール工業 RP-50-2M, M-20A2LS, M-30AW2VD-27 HITACHI, UNITY-85IEM
Seren

AT3, AT6, AT10, AT20, AT30  
AT50-75, AT50-140, AT100-160, AT200, AT300, MC2  
ATS3, ATS6, ATS10, ATS20, ATS30, ATS50-75, ATS50-140  
ATS100-140, ATS100-160, ATS100-180, ATS100-350, ATS200, MCRS  
KYOSAN

DMK45-JA2B Eagle12
MBK10, MBK30, MBK50等  
COMET 10007680 Suprema
Mattson RFS3019, RFS3019M ASPENⅢ-ICP-HT
Suprema

 

搬送ロボット関連

メーカー 品名 型名またはP/N

EQUIPE TECHNOLOGIES
/ PRI AUTOMATION
(BROOKS AUTOMATION)

 

ロボット ATM-104, ATM-105-1-CE, ATM-105-2, ATM-107
ATM-204, ATM-207
ATM-305
ATM-405, ATM-405-1-S-CE, ABM-405-1-NOZ
ATM-407B
プリアライナー PRE-200, PRE-201, PRE-200B-CE
PRE-300-CE, PRE-300B-CE
PRE-301-CE, PRE-301B-CE
PRE-300U-CE
コントローラ ESC-200, ESC-201B
ESC-212-S293-CE
ESC-212B, ESC-218B

MECS

ロボット UTX-1000, UTX-1100, UTX-1200
UTX1100P, UTX1100PASM, UTX1200PT, UTX1200P
コントローラ CS-1000
LUDL ロボット,XY ステージ 99A036, 99S003
AMAT P5000ブレード再生 P5000(CVD, ETCH)

 

RPS

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
AE 3151801-004 CENTURA-HDP
MKS(ASTeX)

AX-7657-xx Eagle10, Eagle12, 
Dragon
AX-7670, AX-7645, FI80131, FI80132 ALTUS, Speed, 
VECTOR C3
FI20620, FI20620-1, AX-7670-xx, AX-7635-xx AKT
FI20620-1, AX-7651, AX-7670, AX-7680, AX-7685 PRODUCER, 
Centura Ultima X

 

その他機種

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例) 物品名
AMAT 0100-18039, 0100-18051 CENTURA TC FILTER BOARD
0110-09291 P-5000 DxZ OPTIMA INTERFACE BOARD
EDISON H1061/1200 CENTURA-DPS P5000 MONOCHROMATOR
ASTeX(ETO)


ABX-X272 CENTURA-HDP PS INTERFACE BOARD
ABX-X284 Dragon2300 HV CAP BANK BOARD
ABX-X287 Ultima HDP-CVD Centura REPLACEMENT BOARD
ABX-X355 CENTURA-HDP RF Generator Control BOARD
ABX-X494 CENTURA-HDP HV FILTER BOARD
ASTeX SXRHC CENTURA-HDP, CENTURA-DPS Magnetron Head
ORIENTAL MOTOR UDX5114N Endura MOTOR DRIVER

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