修理・アップグレード
各種電子機器（RF電源、DC電源、マッチャー）などの修理と改善GHW-12Z
P.R.A.は、各種電源・マッチングネットワークの修理を行っております。
また、経験と知識を生かし、単なる故障箇所の修理にとどまらず、使用部品の最適化など信頼性向上につながる改善なども行っており、お客様より高い評価を受けております。
弊社で修理・アップグレードをしている主な周辺装置についてご紹介します。
修理・アップグレード製品の紹介
画像や製品名をクリックして頂きますと、詳細情報をご覧頂けます。
修理・アップグレード製品の型番一覧
■ DC電源
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| Advanced Energy(AE) |
MDXシリーズ：MDX-L6, MDX-L12, MDX-L12M, MDX-L12M-650, MDX-L18M MDX-HALO, MDX-10K |
ENDURA |
| Pinnacleシリーズ：Pinnacle20K, Pinnacke12K, Pinnacle10K, Pinnacle6K | ENDURA ULVAC | |
| MDLシリーズ：MDL-1501, MDL-1001 | ULVAC PVD | |
| SUMMIT DC Power Supply：3152700-203, 3152700-205 | ULVAC | |
| ANELVA | PDC-307シリーズ：PDC-157シリーズ | ANELVA |
| MKS(ENI) | DCGシリーズ：DCG100, DCG-200, DCG-400 | ENDURA他 |
| KYOSAN | HV-PS4（ESC電源） | Telius-SCCM |
■ RF電源
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| Advanced Energy(AE) |
APEX-3013, PDX-900, RFG-2000-2V | PRODUCER |
| RFG-5500 | Concept2 SPEED、SEQUEL | |
| RFG-3000 | Concept2 / ALTUS | |
| RFG-1251 | INOVA | |
| RFG-1250, RFDS-1250, RFG-1250 Halo | TCP9400/9600, Alliance | |
| PDX-5000, PDX-8000 | Concept2, Concept3 | |
| HFV-8000 | ENDURA | |
| ATLAS 2012 | CENTURA-DPS+POLY | |
| AE(RFPP) |
LF-10A | ENDURA |
| RF-20R | CENTURA DPS | |
| RF-30S | AspenⅢ | |
| RF-10S | Aspen II | |
| RF-5S | CENTURA DPS | |
| ADTEC | AX-1000Ⅱ, AX-1000 III, AX-1000LFⅡ, AX-2000, TX10 | Eagle10, Dragon XP-8 |
| COMDEL |
CPS-1001/1001S, CDX-2000, CPS-500, CB-250, CLX-2500, CX-600 | ENDURA |
| CLX-1250, CX-1250S, CX-600AS | INOVA, ENDURA | |
| CLF-5000 | Concept2 SPEED | |
| DAIHEN |
WGA-30A, AGA-27A, AGA-50B2, WGA-50E | UNITY, TELIUS SCCM |
| MFG-20SA | TE8500 | |
| MKS(ENI) |
OEM-12A, OEM-12B, OEM-6 | P5000 CENTURA |
| NOVA50-04, GHW-50A | CENTURA HDP | |
| GHW-12Z | ENDURA | |
| GMW-25A, GMW-25, GW2502MA-F1N000-A1 | CENTURA DPS | |
| GHW-55A | TELIUS-DRM | |
| OEM-12B, OEM-12B3 | CENTURA | |
| OEM-25N, OEM-28B | Concept1 | |
| OB1, OB2 | Excellan | |
| OEM-6, PL-2HF | TE5000 | |
| OEM-10B | TE7500, Concept1 | |
| GEW-30A | UNITY-85ME | |
| NOVA50A-02 | UNITY lle855 | |
| OEM-25B-01, OEM-20B | Telius DRM | |
| DOFBC2-083 | 2300 Exelan_Flex45 | |
| SPECTRUM 10513-00, SPECTRUM 11002-00 | Ultima | |
| ULVAC | RFS-05C | RFS-05C |
| パール工業 |
LP500-800KB | M501 |
| LP150-800KB | M511 | |
| LP-2000-800K | HITACHI | |
| RP-3000-27M | UNITY IEM | |
| Seren |
HR2001-1P-2, HR2001-3P, HR2001-3P-2M, HR2501-3P, HR3001, HR3001-2M | |
| HR5001, HR5001-2M, HR10001, HR20001, HR30001 | ||
| HR601-60, HR601-LF, HR1001-LF, HR10001-LF | ||
| I2000-AC, I2000-WC, I2000-D-AC, JY2501-AC, RFS3, RFS2 | ||
| KYOSAN | RFK30Z, RFK20Z, RFK-10Z, RFK-50Z | TOK、TEL他 |
■ マッチャー
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| Advanced Energy(AE) | MFA（3155094-003） BiasMatch（3155031-037, 3155031-043, 3155031-014, 3155031-020A） AZX-Dome（1110-01043, 1110-01046, 1110-01063） SOURCE MATCH（3150595-000, 3155086-002B, 3155086-002C, 3155086-102B, 3155086-102C, 3155086-001C, 3155086-002） |
PRODUCER |
|
Applied Materials(AMAT) |
0010-20524, 0010-20525, 0010-12456, 0010-13622, 0010-13627, 0010-15877, 0010-20440, 0010-25893, 0010-02977, 0010-22161, 0010-22225, 0010-26029, 0010-30094, 0010-09750, 0010-18129, 0010-18130, 0010-36114, 0010-36408, 0010-09490, 0010-36162, 0010-09416, 0010-09417, 0010-30686, 0010-21748, 0010-52039, 0010-02372, 0010-18130, 0010-18129, 0010-52038 |
ENDURA CENTURA P5000 |
| ADTEC | AM-1000S-ASM, AMV-1000ASM5, AM-2000S-M, AMV-1000G5E, AMVG-1000-HLF-KZ3 | Eagle 10, Dragon XP-8, RAMCO |
| ASTECH | TH-30RN | E-628 |
| COMDEL | LF Fixed Match(0190-11913) | ENDURA |
| DAIHEN | RMN-50P, AMN-50B2, MFM-20SA, AMN-30F, AMN-50B, AMN-50H, WMN-50C6 | Telius SCCM, TE8500 |
| Lam Research | 853-025735R00, 853-330951-021, 853-032294-002, 853-040482-301, 853-330951R, 853-064887-402 | Alliance, EXELAN |
| MKS(ENI) | MW-10LD | TE7500 |
| MW2-30-02, MW2-30D-01 | UNITY-85ME, 88SDS | |
| MWD-25LD-02, MW-25D, MWD-25LD-04, MWD-55LD, MWD-55LD-03 | UNITY-85DD, Telius DRM | |
| NOVELLUS | 02-255013-00 | Concept2 SPEED |
| RF Service | RFS-1000 | Aspen Diode |
| Trazar |
AMU2-1 | Concept1 |
| AMU10E-1, AMU10E-2, SRN1-2 | Concept2 SPEED | |
| AMU-10D-1, AMU-10D-2, AMU10D-4 | AspenII, ASPENⅢ | |
| ULVAC | MBX-05EA5 | ZX1000 |
| パール工業 | RP-50-2M, M-20A2LS, M-30AW2VD-27 | HITACHI, UNITY-85IEM |
| Seren |
AT3, AT6, AT10, AT20, AT30 | |
| AT50-75, AT50-140, AT100-160, AT200, AT300, MC2 | ||
| ATS3, ATS6, ATS10, ATS20, ATS30, ATS50-75, ATS50-140 | ||
| ATS100-140, ATS100-160, ATS100-180, ATS100-350, ATS200, MCRS | ||
| KYOSAN |
DMK45-JA2B | Eagle12 |
| MBK10, MBK30, MBK50等 | ||
| COMET | 10007680 | Suprema |
| Mattson | RFS3019, RFS3019M | ASPENⅢ-ICP-HT Suprema |
■ 搬送ロボット関連
| メーカー | 品名 | 型名またはP/N |
|
EQUIPE TECHNOLOGIES
|
ロボット | ATM-104, ATM-105-1-CE, ATM-105-2, ATM-107 ATM-204, ATM-207 ATM-305 ATM-405, ATM-405-1-S-CE, ABM-405-1-NOZ ATM-407B |
| プリアライナー | PRE-200, PRE-201, PRE-200B-CE PRE-300-CE, PRE-300B-CE PRE-301-CE, PRE-301B-CE PRE-300U-CE |
|
| コントローラ | ESC-200, ESC-201B ESC-212-S293-CE ESC-212B, ESC-218B |
|
|
MECS |
ロボット | UTX-1000, UTX-1100, UTX-1200 UTX1100P, UTX1100PASM, UTX1200PT, UTX1200P |
| コントローラ | CS-1000 | |
| LUDL | ロボット，XY ステージ | 99A036, 99S003 |
| AMAT | P5000ブレード再生 | P5000(CVD, ETCH) |
■ RPS
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| AE | 3151801-004 | CENTURA-HDP |
| MKS（ASTeX) |
AX-7657-xx | Eagle10, Eagle12, Dragon |
| AX-7670, AX-7645, FI80131, FI80132 | ALTUS, Speed, VECTOR C3 |
|
| FI20620, FI20620-1, AX-7670-xx, AX-7635-xx | AKT | |
| FI20620-1, AX-7651, AX-7670, AX-7680, AX-7685 | PRODUCER, Centura Ultima X |
■ その他機種
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） | 物品名 |
| AMAT | 0100-18039, 0100-18051 | CENTURA | TC FILTER BOARD |
| 0110-09291 | P-5000 DxZ OPTIMA | INTERFACE BOARD | |
| EDISON | H1061/1200 | CENTURA-DPS P5000 | MONOCHROMATOR |
| ASTeX（ETO) |
ABX-X272 | CENTURA-HDP | PS INTERFACE BOARD |
| ABX-X284 | Dragon2300 | HV CAP BANK BOARD | |
| ABX-X287 | Ultima HDP-CVD Centura | REPLACEMENT BOARD | |
| ABX-X355 | CENTURA-HDP | RF Generator Control BOARD | |
| ABX-X494 | CENTURA-HDP | HV FILTER BOARD | |
| ASTeX | SXRHC | CENTURA-HDP, CENTURA-DPS | Magnetron Head |
| ORIENTAL MOTOR | UDX5114N | Endura | MOTOR DRIVER |
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
