修理・アップグレード

修理・アップグレード

各種電子機器(RF電源、DC電源、マッチャー)などの修理と改善

P.R.A.はコムデル製品をはじめ、各種電源、マッチングネットワークの修理を行っております。

また、経験と知識を生かし、単なる故障箇所の修理にとどまらず、使用部品の最適化など信頼性向上につながる改善なども行っており、お客様より高い評価を受けております。

弊社で修理・アップグレードをしている主な周辺装置についてご紹介します。

修理・アップグレード製品の紹介

画像や製品名をクリックして頂きますと、詳細情報をご覧頂けます。

 

 

修理・アップグレード製品の型番一覧

DC電源

メーカー 型名 対象装置
Advanced Energy(AE) MDXシリーズ    MDX-L6  MDX-L12  MDX-L12M  MDX-L12M-650  MDX-L18M  MDX-HALO ENDURA
Advanced Energy(AE) Pinnacleシリーズ   Pinnacle20K  Pinnacke12K  Pinnacle10K  Pinnacle6K ENDURA  ULVAC
Advanced Energy(AE) MDLシリーズ          MDL-1501  MDL-1001 ULVAC
ANELVA PDC-307シリーズ PDC-157シリーズ ANELVA
MKS(ENI) DCGシリーズ        DCG100  DCG-200  DCG-400  

 

 

RF電源

メーカー 型名 対象装置
Advanced Energy(AE) APEX-3013  PDX-900  RFG-2000-2V PRODUCER
RFG-5500 C2 SPEED  SEQUEL
RFG-3000 C2/ALTUS
RFG-1251 INOVA
RFG-1250  RFDS-1250  RFG-1250 Halo Alliance
AE(RFPP)


LF-10A ENDURA
RF-20R CENTURA DPS
RF-30S AspenⅢ
RF-10S Aspen II
ADTEC AX-1000II-ASM Eagle10
COMDEL

CPS-1001/1001S  CDX-2000  CPS-500  CB-250  CLX-2500  CX-600 ENDURA
CLX-1250 INOVA
DAIHEN

WGA-30A  AGA-27A UNITY
MFG-20SA TE8500
MKS(ENI) OEM-12A  OEM-12B  OEM-6 P5000  CENTURA
NOVA50-04  GHW-50A CENTURA HDP
GMW-25A CENTURA DPS
OEM-50  OEM-25N  OEM-28B C1
OB1-3 Excellan
OEM-6  PL-2HF TE5000
OEM-10B TE7500
GEW-30A UNITY-85ME
NOVA50A-02 UNITY lle855
OEM-25B-01  OEM-20B Telius DRM
ULVAC RFS-05C RFS-05C
パール工業

LP500-800KB M501
LP150-800KB M511
RP-3000-27M UNITY IEM

 

 

マッチャー

メーカー 型名 対象装置
Advanced Energy(AE) MFA(3155094-003)  BiasMatch(3155031-037 3155031-043 3155031-014)                  AZX-Dome(1110-01043 1110-01046 1110-01063) PRODUCER

Applied Materials(AMAT)

0010-20524 0010-20525 0010-12456 0010-13622 0010-13627 0010-15877 0010-20440 0010-25893 0010-02977 0010-22161 0010-22225 0010-26029 0010-30094 0010-09750 0010-18129 0010-18130 0010-36114 0010-36408 0010-09490 0010-36162 0010-09416 0010-09417 0010-30686 ENDURA CENTURA P5000

ADTEC

AM-1000S-ASM Eagle 10

ASTECH

TH-30RN E-628

COMDEL

LF Fixed Match(0190-11913) ENDURA

DAIHEN

MFM-20SA TE8500

DAIHEN

RMN-50P AMN-50B2 Telius SCCM
Lam Research 853-025735R00 853-330951-021 853-032294-002 Alliance
MKS(ENI) MW-10LD TE7500
MW2-30-02 UNITY-88SCCM
MWD-25LD-02 Telius DRM
NOVELLUS 02-255013-00 C2 SPEED
RF Service RFS-1000 AspenII
Trazar


AMU2-1 C1
AMU10E-1 AMU10E-2 SRN1-2 C2 SPEED
AMU-10D-1 AMU-10D-2 AspenII
ULVAC MBX-05EA5 ZX1000
パール工業 RP-50-2M HITACHI

 

P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
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