修理・アップグレード

修理・アップグレード

各種電子機器(RF電源、DC電源、マッチャー)などの修理と改善

P.R.A.はコムデル製品をはじめ、各種電源、マッチングネットワークの修理を行っております。

また、経験と知識を生かし、単なる故障箇所の修理にとどまらず、使用部品の最適化など信頼性向上につながる改善なども行っており、お客様より高い評価を受けております。

弊社で修理・アップグレードをしている主な周辺装置についてご紹介します。

修理・アップグレード製品の紹介

画像や製品名をクリックして頂きますと、詳細情報をご覧頂けます。

 

 

修理・アップグレード製品の型番一覧

DC電源

メーカー 型名 対象装置
Advanced Energy(AE) MDXシリーズ    MDX-L6 MDX-L12 MDX-L12M MDX-L12M-650 MDX-L18M MDX-HALO ENDURA
Advanced Energy(AE) Pinnacleシリーズ   Pinnacle20K Pinnacke12K Pinnacle10K Pinnacle6K ENDURA
Advanced Energy(AE) MDLシリーズ          MDL-1501 MDL-1001 液晶
MKS(ENI) DCG-200 ENDURA
ANELVA PDC-307シリーズ PDC-157シリーズ I1060/I1051

 

 

RF電源

メーカー 型名 対象装置
COMDEL CPS-1001/1001S CDX-2000 CPS-500 CB-250 CLB-2500 CX-600 ENDURA
CLX-1250 INOVA
Advanced Energy(AE) APEX-3013 PDX-900 RFG-2000-2V Producer
RFG-5500 C2 SPEED SEQUEL
RFG-3000 C2/ALTUS
RFG-1251 INOVA
RFG-1250 RFDS-1250 RFG-1250 Halo Alliance
RF-5S E-628
RF-20S RAM-6500
RF-30S CVR-9000
AE(RFPP) RF-10S Aspen II
MKS(ENI) OEM-12Bシリーズ P-5000/CCENTURA
NOVA50-04 GHW-50A CENTURA HDP
GMW-25A CENTURA DPS
OEM-50 OEM-25N OEM-28B C1
OB1-3 Excellan
OEM-6 PL-2HF TE5000
OEM-10B TE7500
GEW-30A UNITY-85ME
NOVA50A-02 Unity lle855
OEM-25B-01 OEM-20B Telius DRM
パール工業 LP500-800KB M501
LP150-800KB M511
RP-300-2M  
DAIHEN WGA-30A AGA-27A UNITY
MFG-20SA TE8500
ADTEC AX-1000II-ASM Eagle10
ULVAC RFS-05C ZX1000

 

 

マッチャー

メーカー 型名 対象装置
Applied Materials(AMAT) 0010-20524 0010-20525 0010-12456 0010-13622 0010-13627 0010-15877 0010-20440 0010-25893 ENDURA
0010-20441 0010-20442 0010-02977 0010-22161 0010-22225 0010-26029 0010-30094 PVD
0010-09750 0010-18129 0010-18130 0010-36114 0010-36408 0010-09490 0010-36162 0010-09416 0010-09417 0010-30686 CENTURA
Trazar AMU2-1 C1
AMU10E-1 AMU10E-2 SRN1-2 C2 SPEED
AMU-10D-1 AMU-10D-2 AspenII
Lam Research 853-025735R00 853-330951-021 853-032294-002 Alliance
MKS(ENI) MW-10LD TE7500
MW2-30-02 UNITY-88SCCM
MWD2-30 UNITY-ME85R
MWD-25LD-02 Telius DRM
COMDEL LF Fixed Match(0190-11913) ENDURA
ULVAC MBX-05EA5 ZX1000
NOVELLUS 02-255013-00 C2 SPEED
ADTEC AM-1000S-ASM Eagle 10
DAIHEN MFM-20SA TE8500
ASTECH TH-30RN E-628
パール工業 RP-50-2M HITACHI
RF Service RFS-1000 AspenII
Advanced Energy(AE) MFA(3155094-003等) AZX-63 AZX-Dome(1110-01043) AZX-Dome(1110-01046) AZX-Dome(1110-01063) CENTURA

 

P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
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