製品の型番一覧

製品の型番一覧

DC電源

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
Advanced Energy(AE)

MDXシリーズ:MDX-L6, MDX-L12, MDX-L12M, MDX-L12M-650, MDX-L18M 
        MDX-HALO, MDX-10K
ENDURA
Pinnacleシリーズ:Pinnacle20K, Pinnacke12K, Pinnacle10K, Pinnacle6K ENDURA  ULVAC
MDLシリーズ:MDL-1501, MDL-1001 ULVAC PVD
SUMMIT DC Power Supply:3152700-203, 3152700-205 ULVAC
ANELVA PDC-307シリーズ:PDC-157シリーズ ANELVA
MKS(ENI) DCGシリーズ:DCG100, DCG-200, DCG-400 ENDURA他
KYOSAN HV-PS4(ESC電源) Telius-SCCM

 

RF電源

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
Advanced Energy(AE)



APEX-3013, PDX-900, RFG-2000-2V PRODUCER
RFG-5500 Concept2 SPEED、SEQUEL
RFG-3000 Concept2 / ALTUS
RFG-1251 INOVA
RFG-1250, RFDS-1250, RFG-1250 Halo TCP9400/9600, Alliance
PDX-5000, PDX-8000 Concept2, Concept3
HFV-8000 ENDURA
ATLAS 2012 CENTURA-DPS+POLY
AE(RFPP)



LF-10A ENDURA
RF-20R CENTURA DPS
RF-30S AspenⅢ
RF-10S Aspen II
RF-5S CENTURA DPS
ADTEC AX-1000Ⅱ, AX-1000 III, AX-1000LFⅡ, AX-2000, TX10 Eagle10, Dragon XP-8
COMDEL


CPS-1001/1001S, CDX-2000, CPS-500, CB-250, CLX-2500, CX-600 ENDURA
CLX-1250, CX-1250S, CX-600AS INOVA, ENDURA
CLF-5000 Concept2 SPEED
DAIHEN

WGA-30A, AGA-27A, AGA-50B2, WGA-50E UNITY, TELIUS SCCM
MFG-20SA TE8500
MKS(ENI)


OEM-12A, OEM-12B, OEM-6 P5000  CENTURA
NOVA50-04, GHW-50A CENTURA HDP
GHW-12Z ENDURA
GMW-25A, GMW-25, GW2502MA-F1N000-A1 CENTURA DPS
GHW-55A TELIUS-DRM
OEM-12B, OEM-12B3 CENTURA
OEM-25N, OEM-28B Concept1
OB1, OB2 Excellan
OEM-6, PL-2HF TE5000
OEM-10B TE7500, Concept1
GEW-30A UNITY-85ME
NOVA50A-02 UNITY lle855
OEM-25B-01, OEM-20B Telius DRM
DOFBC2-083 2300 Exelan_Flex45  
SPECTRUM 10513-00, SPECTRUM 11002-00 Ultima
ULVAC RFS-05C RFS-05C
パール工業

LP500-800KB M501
LP150-800KB M511
LP-2000-800K HITACHI
RP-3000-27M UNITY IEM
Seren

HR2001-1P-2, HR2001-3P, HR2001-3P-2M, HR2501-3P, HR3001, HR3001-2M  
HR5001, HR5001-2M, HR10001, HR20001, HR30001  
HR601-60, HR601-LF, HR1001-LF, HR10001-LF  
I2000-AC, I2000-WC, I2000-D-AC, JY2501-AC, RFS3, RFS2  
KYOSAN RFK30Z, RFK20Z, RFK-10Z, RFK-50Z TOK、TEL他

 

マッチャー

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
Advanced Energy(AE) MFA(3155094-003)
BiasMatch(3155031-037, 3155031-043, 3155031-014, 3155031-020A)
AZX-Dome(1110-01043, 1110-01046, 1110-01063)
SOURCE MATCH(3150595-000, 3155086-002B, 3155086-002C, 3155086-102B,
  3155086-102C, 3155086-001C, 3155086-002)
PRODUCER

Applied Materials(AMAT)

0010-20524, 0010-20525, 0010-12456, 0010-13622, 0010-13627, 0010-15877,
0010-20440, 0010-25893, 0010-02977, 0010-22161, 0010-22225, 0010-26029,
0010-30094, 0010-09750, 0010-18129, 0010-18130, 0010-36114, 0010-36408,
0010-09490, 0010-36162, 0010-09416, 0010-09417, 0010-30686, 0010-21748,
0010-52039, 0010-02372, 0010-18130, 0010-18129, 0010-52038
ENDURA CENTURA P5000
ADTEC AM-1000S-ASM, AMV-1000ASM5, AM-2000S-M, AMV-1000G5E, AMVG-1000-HLF-KZ3 Eagle 10, Dragon XP-8, RAMCO 
ASTECH TH-30RN E-628
COMDEL LF Fixed Match(0190-11913) ENDURA
DAIHEN RMN-50P, AMN-50B2, MFM-20SA, AMN-30F, AMN-50B, AMN-50H, WMN-50C6   Telius SCCM, TE8500
Lam Research 853-025735R00, 853-330951-021, 853-032294-002, 853-040482-301, 853-330951R, 853-064887-402 Alliance, EXELAN 
MKS(ENI) MW-10LD TE7500
MW2-30-02, MW2-30D-01 UNITY-85ME, 88SDS
MWD-25LD-02, MW-25D, MWD-25LD-04, MWD-55LD, MWD-55LD-03 UNITY-85DD, Telius DRM
NOVELLUS 02-255013-00 Concept2 SPEED
RF Service RFS-1000 Aspen Diode
Trazar


AMU2-1 Concept1
AMU10E-1, AMU10E-2, SRN1-2 Concept2 SPEED
AMU-10D-1, AMU-10D-2, AMU10D-4 AspenII, ASPENⅢ
ULVAC MBX-05EA5 ZX1000
パール工業 RP-50-2M, M-20A2LS, M-30AW2VD-27 HITACHI, UNITY-85IEM
Seren

AT3, AT6, AT10, AT20, AT30  
AT50-75, AT50-140, AT100-160, AT200, AT300, MC2  
ATS3, ATS6, ATS10, ATS20, ATS30, ATS50-75, ATS50-140  
ATS100-140, ATS100-160, ATS100-180, ATS100-350, ATS200, MCRS  
KYOSAN

DMK45-JA2B Eagle12
MBK10, MBK30, MBK50等  
COMET 10007680 Suprema
Mattson RFS3019, RFS3019M ASPENⅢ-ICP-HT
Suprema

 

搬送ロボット関連

メーカー 品名 型名またはP/N

EQUIPE TECHNOLOGIES
/ PRI AUTOMATION
(BROOKS AUTOMATION)

 

ロボット ATM-104, ATM-105-1-CE, ATM-105-2, ATM-107
ATM-204, ATM-207
ATM-305
ATM-405, ATM-405-1-S-CE, ABM-405-1-NOZ
ATM-407B
プリアライナー PRE-200, PRE-201, PRE-200B-CE
PRE-300-CE, PRE-300B-CE
PRE-301-CE, PRE-301B-CE
PRE-300U-CE
コントローラ ESC-200, ESC-201B
ESC-212-S293-CE
ESC-212B, ESC-218B

MECS

ロボット UTX-1000, UTX-1100, UTX-1200
UTX1100P, UTX1100PASM, UTX1200PT, UTX1200P
コントローラ CS-1000
LUDL ロボット,XY ステージ 99A036, 99S003
AMAT P5000ブレード再生 P5000(CVD, ETCH)

 

RPS

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例)
AE 3151801-004 CENTURA-HDP
MKS(ASTeX)

AX-7657-xx Eagle10, Eagle12, 
Dragon
AX-7670, AX-7645, FI80131, FI80132 ALTUS, Speed, 
VECTOR C3
FI20620, FI20620-1, AX-7670-xx, AX-7635-xx AKT
FI20620-1, AX-7651, AX-7670, AX-7680, AX-7685 PRODUCER, 
Centura Ultima X

 

その他機種

メーカー 型名またはP/N 搭載装置(例) 物品名
AMAT 0100-18039, 0100-18051 CENTURA TC FILTER BOARD
0110-09291 P-5000 DxZ OPTIMA INTERFACE BOARD
EDISON H1061/1200 CENTURA-DPS P5000 MONOCHROMATOR
ASTeX(ETO)


ABX-X272 CENTURA-HDP PS INTERFACE BOARD
ABX-X284 Dragon2300 HV CAP BANK BOARD
ABX-X287 Ultima HDP-CVD Centura REPLACEMENT BOARD
ABX-X355 CENTURA-HDP RF Generator Control BOARD
ABX-X494 CENTURA-HDP HV FILTER BOARD
ASTeX SXRHC CENTURA-HDP, CENTURA-DPS Magnetron Head
ORIENTAL MOTOR UDX5114N Endura MOTOR DRIVER

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