マッチャー
RFマッチングネットワークの修理
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AE社製Biasマッチャー
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AE社製ドームマッチャー
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AMAT社製マッチャー
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AMAT社製HEマッチャー
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ENI社製MW-25Dマッチャー
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ENI社製MWD55LDマッチャー
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DAIHEN社製マッチャー
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Astech社製TH-30RNマッチャー
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Mattson社製RFSマッチャー
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Trazar社製マッチャー
アップグレード
リ・エンジニアリングにより信頼性を向上させます。
HE Plus
HEマッチャーアップグレード
主要パーツの定格アップおよび制御回路基板の変更によるマッチングスピードの改善、信頼性の向上、長寿命化を実現します。
AMAT社製 マッチャーアップグレード
AMAT社製マッチャーアップグレード
主要パーツの定格アップおよび制御回路基板の変更による信頼性の向上、長寿命化を実現します。
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
