技術情報

技術情報

弊社はプラズマアプリケーション、電気、機械、真空、ソフトウェアなど総合的な技術と経験を生かし、半導体・液晶製造装置向けの様々な周辺機器の開発、設計を行っております。
ここでは、プラズマに関わる基礎的な技術情報をお伝えいたします。

 

開発製品例の紹介

これらの技術を元に、弊社では様々な他社製品の修理・アップグレード、またOEM開発製品事例などがございます。

  • 6kV高電圧電源

  • ESC用高電圧電源

  • 多チャンネルRF位相コントローラ

開発製品・アップグレード例の紹介

  • Lam Research社用ESC電源互換機

    Lam Research社用ESC電源互換機

  • P5000マッチングネットワーク 信頼性改善アップグレード

    P5000マッチングネットワーク 信頼性改善アップグレード

  • Trazar社製マッチングネットワーク 信頼性改善アップグレード

    Trazar社製マッチングネットワーク 信頼性改善アップグレード

  • SSDボード ABX279,ABX348,ABX490 信頼性改善アップグレード

    SSDボード ABX279,ABX348,ABX490 信頼性改善アップグレード

  • AMAT社製サーモアンプ基板 信頼性改善アップグレード

    AMAT社製サーモアンプ基板 信頼性改善アップグレード

P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。

  • 047-369-3389
  • FAXでのお問い合せ:047-369-3317
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