製品の型番一覧

製品の型番一覧

DC電源

メーカー 型名 対象装置
Advanced Energy(AE) MDXシリーズ    MDX-L6  MDX-L12  MDX-L12M  MDX-L12M-650  MDX-L18M  MDX-HALO ENDURA
Advanced Energy(AE) Pinnacleシリーズ   Pinnacle20K  Pinnacke12K  Pinnacle10K  Pinnacle6K ENDURA  ULVAC
Advanced Energy(AE) MDLシリーズ          MDL-1501  MDL-1001 ULVAC
MKS(ENI) DCGシリーズ        DCG100  DCG-200  DCG-400 ENDURA
ANELVA PDC-307シリーズ PDC-157シリーズ ANELVA

 

 

RF電源

メーカー 型名 対象装置
COMDEL CPS-1001/1001S  CDX-2000  CPS-500  CB-250  CLX-2500  CX-600 ENDURA
CLX-1250 INOVA
Advanced Energy(AE) APEX-3013  PDX-900  RFG-2000-2V PRODUCER
RFG-5500 C2 SPEED  SEQUEL
RFG-3000 C2/ALTUS
RFG-1251 INOVA
RFG-1250  RFDS-1250  RFG-1250 Halo Alliance
AE(RFPP)


LF-10A ENDURA
RF-20R CENTURA DPS
RF-30S AspenⅢ
RF-10S Aspen II
MKS(ENI) OEM-12A  OEM-12B  OEM-6 P5000  CENTURA
NOVA50-04  GHW-50A CENTURA HDP
GMW-25A CENTURA DPS
OEM-50  OEM-25N  OEM-28B C1
OB1-3 Excellan
OEM-6  PL-2HF TE5000
OEM-10B TE7500
GEW-30A UNITY-85ME
NOVA50A-02 UNITY lle855
OEM-25B-01  OEM-20B Telius DRM
パール工業

LP500-800KB M501
LP150-800KB M511
RP-3000-27M UNITY IEM
DAIHEN WGA-30A  AGA-27A UNITY
MFG-20SA TE8500
ADTEC AX-1000II-ASM Eagle10
ULVAC RFS-05C ZX1000

 

 

マッチャー

メーカー 型名 対象装置
Applied Materials(AMAT) 0010-20524 0010-20525 0010-12456 0010-13622 0010-13627 0010-15877 0010-20440 0010-25893 0010-02977 0010-22161 0010-22225 0010-26029 0010-30094 0010-09750 0010-18129 0010-18130 0010-36114 0010-36408 0010-09490 0010-36162 0010-09416 0010-09417 0010-30686 ENDURA CENTURA P5000
Trazar AMU2-1 C1
AMU10E-1 AMU10E-2 SRN1-2 C2 SPEED
AMU-10D-1 AMU-10D-2 AspenII
Lam Research 853-025735R00 853-330951-021 853-032294-002 Alliance
MKS(ENI) MW-10LD TE7500
MW2-30-02 UNITY-88SCCM
MWD-25LD-02 Telius DRM
COMDEL LF Fixed Match(0190-11913) ENDURA
ULVAC MBX-05EA5 ZX1000
NOVELLUS 02-255013-00 C2 SPEED
ADTEC AM-1000S-ASM Eagle 10
DAIHEN MFM-20SA TE8500
DAIHEN RMN-50P AMN-50B2 Telius SCCM
ASTECH TH-30RN E-628
パール工業 RP-50-2M HITACHI
RF Service RFS-1000 AspenII
Advanced Energy(AE) MFA(3155094-003)  BiasMatch(3155031-037 3155031-043 3155031-014)                  AZX-Dome(1110-01043 1110-01046 1110-01063) PRODUCER

 

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