Wafer transport robot

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  • ウェハー搬送ロボット

    Wafer transport robot(ATM-100, ATM-400)

  • ロードポート

     Load port(LPT-2200)

  • プリアライナー(PRE200, 300)

    Pre-Aligner(PRE200, 300)

  •  MTR-5

    Vacuum Wafer Robot(MTR-5)

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    Vacuum Wafer Robot(MAG-7)

  •  MTR-5

    P5000 Robot Blade

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